8-800-200-2090
public@akc.ru
(495) 680-90-88
(495) 680-89-87
(495) 680-99-71
На главнуюНаписать намКарта сайта

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики).

Итого: 780.00руб. Купить


Вы можете купить электронную версию издания «Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники». После оплаты оно будет доступно для скачивания в Личном Кабинете в разделе «Электронные издания». Формат PDF. Стоимость — от 780.00 руб.
  • ПодпискаКорпоративные университеты
  • ПодпискаСельскохозяйственная биология
  • ПодпискаМиша
  • ПодпискаВопросы практической педиатрии
  • ПодпискаФилософские науки
  • ПодпискаЭлектротехника
  • ПодпискаСветотехника
  • ПодпискаВестник архивиста
  • ПодпискаНефтепромысловое дело/Oilfield Engineering
  • ПодпискаСтандарты и качество
  • ПодпискаВопросы гинекологии, акушерства и перинатологии

09.01.2017Все новости

Коллекция электронных периодических изданий пополнилась новым изданием – ЭКО.

Доступен архив с 2005 года. Открыта подписка на 2017 год!

подробнее »

ПОДПИСКА НА ЖУРНАЛЫ И ГАЗЕТЫ ON-LINE1

Агентство подписки "АРЗИ"Агентство подписки "Книга-Сервис"

© 2005-2010 Агентство «Книга-Сервис»

107996 Москва
Протопоповский пер. 19, к.17
E-mail: public@akc.ru

Загрузка...
Загрузка...